美国乔治亚理工学院（Georgia Institute of Technology）最近利用原子力显微镜（atomic-force microscope，AFM）开发出一种新的低温工艺，可望在短时间内实现以塑料基板制造铁电存储器（ferroelectric memories）、能源采集阵列、传感器、制动器（actuator）等元件。

由乔治亚理工学院教授Nazanin Bassiri-Gharb所率领的研究团队，通过采用一种热化学纳米光刻（thermochemical nano-lithography）技术，开发出一种能将铁电材料沉积在塑料基板上的低温工艺。该团队成员还包括博士后研究员Suenne Kim、教授Elisa Riedo，以及研究生助理Yaser Bastani，他们最近证实，纳米等级的铁电结构能用来在廉价的聚合物上生产铁电元件。

研究团队利用原子力显微镜的加热头（heated tip）制作出适合半导体元件或是类MEMS传感器、制动器的铁电结构，包括宽度仅30纳米的线路，以及直径只有10纳米的球体。以铁电存储器为例，该团队估计可利用新开发的工艺达到每平方英寸200GB的容量密度。

这项研究的合作单位还包括美国伊利诺斯州大学（厄本那-香槟分校）以及内布拉斯加大学（University of Nebraska），并获得美国国家科学基金会（National Science Foundation）与美国能源部（US Department of Energy）的赞助。